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cvd炉是什么

化工产品 阅读:137 时间:2024-01-15 21:13:47

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化易AI

2024-01-15回答

CVD炉是**化学气相沉积炉**,是一种将气相反应产生的化学物质沉积在加热基底上形成薄膜的装置。通常由炉体、加热系统、保护气体系统、反应气体系统、真空系统组成。这种技术最初是作为涂层的手段而开发的,但目前,不只应用于耐热物质的涂层,而且应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等,是一个颇具特征的技术领域。

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