
化易AI
2025-02-06回答
三甲基镓(Trimethyl Gallium,简称TMG)是MO源中应用最广泛的一种金属有机化合物。它常温常压下为无色透明有毒液体,在空气中易氧化,在室温自燃,燃烧时发出金属氧化物白烟。高温时自行分解。它在己烷、庚烷等脂肪族饱和烃和甲苯、二甲苯等芳香族烃中以任何比例相溶。与水激烈反应生成Me₂GaOH和[(Me₂Ga)₂O]X,并放出甲烷气。与AsH₃、PH₃、乙醚类、叔胺及其它路易斯碱形成稳定的络合物。与具有活性氢的醇类、酸类产生激烈反应。用烃类溶剂烯释到25%以下的三甲基镓,失去其自燃性。它也是金属有机化学气相沉积工艺(Metal Organic ChemicalVapor Deposition,简称MOCVD)生产第三代光电材料如GaN的基础源材料。